液晶触摸屏三温区管式炉

产品概述：
     PT-T1200 CVD是具有80mm直径氧化铝管真空泵和三通道质量流量计气体流动系统的管式炉。它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。 
技术参数：


型号  
 
带有3个MFC气体通道的 PT-T1200 CVD
 

显示
 
发光二极管 
 

较高温度
 
1200℃短时间
 

连续工作温度
 
≤1100℃
 

加热速率
 
建议：0〜10℃/ min
 

温度区
 
220毫米+220毫米+220毫米
 

加热元件
 
钼电阻丝
 

热电偶
 
K型
 

温度控制精度
 
±1℃
 

管尺寸
 
80x1200mm（外径x长）
 

管座
 
包括两个纤维状陶瓷块，用于阻止管子内部的热辐射（在加热之前，陶瓷块必须完全插入炉膛中）。
 

温度控制
 
通过SCR功率控制进行PID自动控制
 

程序和斜坡
 
30步可编程
 

真空法兰
 
带阀的不锈钢真空法兰

法兰
 

功率
 
220V，50 Hz，单相较大6KW
 

质量流量计
 
三种精密质量流量计：

MFC 1：气体流量范围为0〜100 sccm

MFC 2：气体流量范围为0〜200 sccm

MFC 3：气体流量范围为0〜200 sccm

（气体流量范围可根据您的要求）

底壳上装有一个气体混合罐，底壳左侧装有3个不锈钢针阀，以手动控制3种气体的混合

下面的照片是4 MFC供参考。3 MFC将带有3个显示器

质量流量计